Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi

Nugroho, Cahyo Budi (2010) Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi. Masters thesis, Universiti Sains Malaysia.

Preview

PDF Download (834kB) | Preview

Abstract

Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon.

Item Type:	Thesis (Masters)
Subjects:	T Technology > TN Mining Engineering. Metallurgy > TN1-997 Mining engineering. Metallurgy
Divisions:	Kampus Kejuruteraan (Engineering Campus) > Pusat Pengajian Kejuruteraan Bahan & Sumber Mineral (School of Material & Mineral Resource Engineering) > Thesis
Depositing User:	ASM Ab Shukor Mustapa
Date Deposited:	03 Sep 2018 07:31
Last Modified:	12 Apr 2019 05:26
URI:	http://eprints.usm.my/id/eprint/41649

Actions (login required)

View Item